7月18日消息，日本先進(jìn)半導(dǎo)體制造商Rapidus今日正式宣布啟動(dòng)2nm GAA（全環(huán)繞柵極）晶體管的試制，并展示了其首塊2nm GAA晶圓。這也是最尖端邏輯制程從“三足鼎立”走向“四廠爭(zhēng)霸”道路上的關(guān)鍵里程碑。
Rapidus于2023年9月1日舉行了其首座晶圓廠IIM-1的奠基儀式、2024年12月完成了潔凈室準(zhǔn)備，2025年4月1日實(shí)現(xiàn)了初始圖案的曝光與顯影，到2025年6月完成了由200多個(gè)制造單元構(gòu)成的生產(chǎn)線。
▲ IIM-1
Rapidus正在開發(fā)與其2nm工藝兼容的PDK，計(jì)劃2026年一季度結(jié)束前向客戶交付。該企業(yè)2027年實(shí)現(xiàn)2nm量產(chǎn)的計(jì)劃沒有改變。